Saf bir maddenin belirli sıcaklık ve basınçtaki fiziksel durumunu belirlemek için maddenin faz diyagramından yararlanılır. Her maddenin kendine has bir faz diyagramı vardır. Maddeler yüksek basınç düşük sıcaklıkta katı halde, yüksek sıcaklık düşük basınçta gaz halinde bulunma eğilimindedir.

Örneğin, suyun faz diyagramı aşağıdaki gibidir.
O noktası suyun her üç fazının da aynı anda bulunabileceği sıcaklık ve basıncı gösterir. Bu koşullar 4,58 mm Hg basınç ve 0,01 ^oC sıcaklıktır. Bu noktaya üçlü nokta denir.
OA, OB ve OC çizgileri maddeyi üç bölmeye ayırır. Bu üç bölmede maddenin hangi hallerde bulunduğu faz diyagramı üzerinde gösterilmiştir.
OA çizgisi katı - sıvı,
OB çizgisi sıvı - gaz,
OC çizgisi ise katı - gaz
denge durumunu belirtir.
Çizgiler maddenin çeşitli basınçlardaki hal değiştirme sıcaklıklarını gösterir.